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几何误差修正
几何误差是由于机器部件的磨损、定位误差或制造误差导致的。通过使用修正程序，可以纠正这些误差，从而提高测量精度。修正程序通常包括对机器运动的线性度、角偏差和重复定位精度的测量和调整。
纳米级扫描电子显微镜（SEM）探索微观世界：扫描电子显微镜利用聚焦电子束在样品表面扫描，激发二次电子等信号来成像，其分辨率可达到纳米级，甚至亚纳米级。在材料科学、生物医学、半导体技术等领域，SEM成为研究微观结构、表面形貌和化学成分的重要工具，为精密量测和科学研究开辟了全新的视角。
光学干涉测量技术在精密加工中的应用：光学干涉测量技术利用光的干涉原理，通过测量光波在物体表面反射或透射时产生的干涉图样，来测定物体的形状、表面粗糙度等参数。该技术具有高灵敏度和非接触测量的优点，在光学元件加工、半导体制造、微纳米加工等领域得到广泛应用，推动了这些领域向更和更复杂结构的发展。
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